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光刻作为芯片制造流程中最关键的环节,其基本原理其实很简单,就是用光,来完成对硅片的雕刻。
光刻中的硅片,就像是挂在墙上的投影布,而光刻机则是投影仪,
如果投影布表面不平整,出现起伏,那投影的画面自然就会扭曲变形。
在光刻中,硅片的表面瑕疵,则会导致投影上去的电路设计路变形,从而导致
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本章完
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